Electronic Special Gas

电子特气被称为电子工业的“血液”，许多不同的气体(腐蚀性气体、反应性气体和惰性气体)以不同的流速被输送到处理室，以在用于制造逻辑和存储芯片的硅晶片上产生关键特征。不仅需要以精确的数量和出色的可重复性输送这 些气体，而且还需要严格的纯度水平。

半导体电子特气多属于剧毒或腐蚀性气体，因此在过滤器选择上，多选用PTFE滤膜、不锈钢烧结、金属不锈钢滤壳式过滤器。

半导体特气净化发生在两个关键的位置，气体接收和储存&工艺应用点

产品特点

结构材质

滤材:PTFE/SUS/Ni

内骨架材质:PFA

外骨架材质:SUS316L

产品性能

最高使用温度:121℃

最大正向压差:6Bar@20℃

最大工作压力:5.2Mpa@121℃

氦气泄露测试:1X10-9atm cc/sec

电抛光精度:<20pinRa

拦截效率:99.9999%

Has-cleen 一体式气体过滤器

Has-cleen 一体式气体过滤器，外壳采用电子级不锈钢316L,内部滤芯采用PFA材料，滤膜材料可选PTFE、SUS、Ni，能够高效去除气体中的颗粒。耐腐蚀、耐高压材料适用于各种特殊气体的过滤工艺，结构紧凑，更换操作简易。

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