Wet Etch and Clean(WEC)
湿法刻蚀有几个关键指标，刻速率，选择比，方向性。针对刻蚀的最终要求，图形转移时的保真度，选样比，均匀性和刻神的清洁。湿法刻蚀的刻蚀剂均为强酸、强碱等具有强腐蚀性的溶液，在选择过滤器时需要严苛验证过滤材质的耐腐蚀性和化学兼容性。
实际应用案例中，以PTFE+PFA材质作为材质的过滤器因其具有高过滤精度、广化学耐受性以及低溶出在WEC应用点表现优异。
SENJOKIREY:系列过滤器具有疏水性和亲水性两种高效的PTFE滤材可选广泛应用于各种高纯度化学品和溶剂过滤，PTFE滤材优异的化学兼容性保证其在不同的酸、碱、溶剂中具有稳定的颗粒去除率。更大的膜面积选型有效提高了流速并延长了滤芯的使用寿命。提供预润湿选项，可直接上机使用，减少设备停机时间。
ATN系列适用于高温和腐蚀性化学品，如高温酸、磷酸、硝酸等，全氟的骨架最大限度地减少金属离子析出及其他污染物。ATL系列亲水化处理的PTFE滤材适用于对“脱湿压泡”效应敏感的使用环境，能大幅降低滤膜在长时间使用期间因为脱湿而牺牲流量的隐患。SPE系列采用HDPE骨架，具备极低的金属离子析出率和其他污染物析出，与大多数较低温度、稀释的化学品兼容。
产品选型
PROFUNNEL"是一款专为半导体制程中稀酸/稀碱过滤设计的高效益过滤器PES膜具有不对称性，能够更好的提供颗粒截流率，同时具有更大的流量和纳污量，更长的使用寿命。HDPE骨架确保了更低的析出。
应用点
适用行业:半导体，平板显示器， 数据存储， LED适用化学品:弱酸/碱溶剂
工艺:湿式蚀刻和清洁，磁头-湿式蚀刻和清洁安装点:化学品制造端、大宗化学品供应系统、工艺设备点位
产品特点:
安装便捷，减少停机时间
极高的截留率
高通量，长寿命
100%完整性测试
