Load Port N2 Purge Solution
方案介绍：
N2/XCDA Purge Loadport 是为了降低FOUP内湿度，能够延长Q-Time 而设计的氮气/XCDA 充气方案，能在没有 Purge 功能的LoadPort 上进行改装，达到 Purge 功能，具 EAP通信功能，能通过 MES/EAP 控制Purge&数据采集。多节点集中管理，数据传输稳定可靠，走线便捷整洁。
产品使用场景:
背景及作用简介：
背景：
40nm及以下工艺生产对queue time要求较高。为保证客戶现阶段生产质量，满足客户生产要求。需要在设备上加装lord port purge功能。
作用：
减少FOUP內的particle
降低FOUP内的RH，延长Q-Time
降低制程中产生的AMC（化学物质）
系统架构：
运作模式：
Load Port Purge 电控逻辑
管路架构
料件规格：
盘面介绍：
控制模组介绍：
软件系统:
流程图：
SECS 指令时序图
