Levitronix PUMP

概述：

近年来以硅作为基础材料的微电子行业得到迅猛发展，微电子集成电路技术的发展依赖于硅晶圆片半导体材料的表面质量，研究表明有一半的硅晶半导体芯片的损失并不是因为制造技术不先进，而是由于硅晶圆半导体的表面被污染，为了最大限度降低杂质对芯片良品率的影响，湿法工艺所涉及的液体全部要求纯净、无杂质，且部分场景对流量控制精度也有较高要求。

槃实科技磁悬浮无轴承泵专为微电子领域中流体的超纯处理过程而设计，采用磁悬浮无轴承电机技术实现了悬浮驱动一体化，从而达到无摩擦、超洁净的需求。